Presentation Information
[17a-PB1-13]Preparation and Evaluation of Oxide Thin Films by Electrostatic Spray Deposition Using Molybdenum Organic Complex
〇Seigo Ito1, Koshi Nishiguchi1, Ryotaro Noguchi1, Naoki Ohtani1 (1.Doshisha Univ.)
Keywords:
Molybdenum oxide,Electrostatic spray deposition,Solution process
有機デバイスの正孔輸送層として期待される酸化モリブデン薄膜を，大気圧下・低温プロセスである静電噴霧法(ESD)を用いて作製した．有機Mo錯体溶液を原料とし，溶媒組成や噴霧条件を検討した結果，30℃の基板上で(020)配向したα-MoO3結晶膜を得ることに成功した．本発表では，結晶成長メカニズムの考察に加え，高沸点溶媒添加による表面平坦性の改善効果についても報告する．