Presentation Information
[17a-PB2-5]XPS Analysis of Focused Ion Beam Processing Effects on IL@MOF
〇(B)Koki Egawa1, Kentaro Kinoshita1, Zheng Yumeng1 (1.Tokyo Univ. of Sci)
Keywords:
MOF,FIB,XPS
金属有機構造体(MOF)は電子デバイスの飛躍的な性能の向上を可能とする材料として注目されている。MOFの導入へ向けて、物理エッチングによるダメージを明らかにする必要がある。本研究では、IL@Cu3BTC2に対するFIB加工前後の表面化学状態をX線光電子分光法(XPS)により評価した。その結果、IL導入により平滑なFIB加工が可能となったが、加工部のCuは2価から1価へ還元し、物性に変化が生じた。