[17a-PB2-1~9] 12.2 評価・基礎物性

[17a-PB2-5] イオン液体充填金属有機構造体に対する集束イオンビーム加工ダメージの光電子分光評価

〇(B)江川 皓貴¹、木下 健太郎¹、鄭 雨萌¹ (1.東理大先進工)

キーワード：

金属有機構造体、集束イオンビーム、光電子分光法

金属有機構造体(MOF)は電子デバイスの飛躍的な性能の向上を可能とする材料として注目されている。MOFの導入へ向けて、物理エッチングによるダメージを明らかにする必要がある。本研究では、IL@Cu3BTC2に対するFIB加工前後の表面化学状態をX線光電子分光法(XPS)により評価した。その結果、IL導入により平滑なFIB加工が可能となったが、加工部のCuは2価から1価へ還元し、物性に変化が生じた。