[17a-WL2_401-1~11] 3.13 Silicon photonics, Photonics-electronics convergence, Optical control

9:15 AM - 9:30 AM JST(12:15 AM - 12:30 AM UTC)

[17a-WL2_401-2] Analysis of Waveguide Thickness Distribution and Quasi-Phase-Matching Conditions in Periodically-Poled TFLN/SiN Hybrid Waveguide

〇Mitsuki Shimoda^1,3, Yamato Kitamura^2,3, Yuki Fujii^2,3, Tomohiro Kita¹, Atsushi Ishizawa², Rai Kou³ (1.Waseda Univ., 2.Nihon Univ., 3.AIST PEIRC)

Keywords:

Lithium Niobate

我々は薄膜LN(TFLN) 導波路幅の揺らぎを抑えられ、かつ加工プロセスを容易にするPP-TFLN/SiN ハイブリッド導波路を提案した。しかしLNOIウエハ のTFLN層厚は製造手法により誤差が生じるため、本研究ではウエハ面内分布に応じた分極反転周期と位相不整合量の変化を計算した。その結果、層厚の変化量1nm あたりSHGピーク波長が15nmシフトすることが判明した。