[17a-WL2_401-1~11] 3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御

9:15 〜 9:30

[17a-WL2_401-2] 周期分極反転TFLN/SiNハイブリッド導波路における導波路厚分布と疑似位相整合条件の解析

〇下田 光輝^1,3、北村 大和^2,3、藤井 佑樹^2,3、北 智洋¹、石澤 淳²、高 磊³ (1.早大先進理工、2.日大生産工、3.産総研光電融合研究センター)

キーワード：

ニオブ酸リチウム

我々は薄膜LN(TFLN) 導波路幅の揺らぎを抑えられ、かつ加工プロセスを容易にするPP-TFLN/SiN ハイブリッド導波路を提案した。しかしLNOIウエハ のTFLN層厚は製造手法により誤差が生じるため、本研究ではウエハ面内分布に応じた分極反転周期と位相不整合量の変化を計算した。その結果、層厚の変化量1nm あたりSHGピーク波長が15nmシフトすることが判明した。