[17p-M_278-1~16] 6.1 Ferroelectric thin films

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[17p-M_278-10] Growth and Electric Properties of BiFeO₃-BaTiO₃ Epitaxial Thin Films on Si

〇Yuji Ashida¹, Norifumi Fujimura¹, Takeshi Yoshimura¹ (1.Osaka Metropolitan Univ.)

Keywords:

ferroelectric thin film,BiFeO3-BaTiO3,Epitaxial film

BiFeO3とBaTiO3の固溶体(BF-BT)は新たな非鉛強誘電体材料として、注目を集めている。バルク材料におけるBF-BTには、モルフォトロピック相境界(MPB)が形成され、その近傍において電気特性の向上が報告されている。しかし、Si基板上への作製や圧電特性に関する報告は限られているため、MEMSなどへの応用の可能性は検証されていない。本研究では、Si基板上にエピタキシャルBF-BT薄膜を作製し、その結晶性と電気特性を評価した。