講演情報
[17p-M_278-10]Si上BiFeO3-BaTiO3エピタキシャル薄膜の成長とその電気特性
〇足田 友志1、藤村 紀文1、吉村 武1 (1.阪公大院工)
キーワード：
強誘電体薄膜、BiFeO3-BaTiO3、エピタキシャル膜
BiFeO3とBaTiO3の固溶体(BF-BT)は新たな非鉛強誘電体材料として、注目を集めている。バルク材料におけるBF-BTには、モルフォトロピック相境界(MPB)が形成され、その近傍において電気特性の向上が報告されている。しかし、Si基板上への作製や圧電特性に関する報告は限られているため、MEMSなどへの応用の可能性は検証されていない。本研究では、Si基板上にエピタキシャルBF-BT薄膜を作製し、その結晶性と電気特性を評価した。