Presentation Information
[17p-PA3-2]Fabrication of laser-induced periodic surface structures (LIPSS) on transparent material by laser-induced plasma-assisted ablation (LIPAA) and its fundamental characteristics (1)
〇Kosei Takamura1, Koshi Kudo1, Daimon Iwasaki1, Sohei Yamada1, Koji Sugioka2, Yasutaka Hanada1 (1.Hirosaki Univ., 2.RIKEN)
Keywords:
nanosecond laser,Laser-Induced Plasma-Assisted Ablation,Laser Induced Periodic Surface Structure
我々はレーザー生成プラズマ支援アブレーション (LIPAA)を用いた透明材料基板上へのレーザー誘起周期表面構造(LIPSS)作製の研究を進めている。1064 nmのナノ秒レーザーを用いたLIPAAによるガラス基板上へのLIPSSは周期間隔が波長の半分程度となった。そこで本報告では、532 nmレーザーを用いたLIPPAによるガラス基板上へのLIPSS作製を試み、その詳細および加工原理について報告する。