講演情報
[17p-PA3-2]レーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA)による透明材料基板上へのLIPSS形成とその加工基本特性(1)
〇高村 昂聖1、工藤 考臣1、岩﨑 大門1、山田 壮平1、杉岡 幸次2、花田 修賢1 (1.弘前大、2.理研)
キーワード：
ナノ秒レーザー、レーザー生成プラズマ支援アブレーション、レーザー誘起周期表面構造
我々はレーザー生成プラズマ支援アブレーション (LIPAA)を用いた透明材料基板上へのレーザー誘起周期表面構造(LIPSS)作製の研究を進めている。1064 nmのナノ秒レーザーを用いたLIPAAによるガラス基板上へのLIPSSは周期間隔が波長の半分程度となった。そこで本報告では、532 nmレーザーを用いたLIPPAによるガラス基板上へのLIPSS作製を試み、その詳細および加工原理について報告する。