Presentation Information
[17p-PB3-6]Local control of electron density in VHF radio frequency plasmas using metamaterials
〇Yukito Nakano1, Hirotake Taguchi1, Osamu Sakai1 (1.Univ. of Shiga Pref.)
Keywords:
metamaterials,plasmas,radio frequency
半導体製造におけるウェハのドライエッチング処理の際に，プラズマ密度がアンテナの形状に依存して空間的に変化することが原因で，ウェハ上に形成される半導体チップの特性が一定にならず，歩留まり率が低下してしまうことが問題になっている．本研究では，設計した金属パターンとして作製したLCR回路素子により構成されるメタマテリアルを用いてプラズマを高密度化する手法を提案する．