[17p-PB3-1~13] 8.1 Plasma production and diagnostics

[17p-PB3-8] Evaluation of Double Curling Probe Method with the Same Diameter Probes

〇TSUBASA UGA¹, Kousei Ozawa¹, Keiji Nakamura¹, Daisuke Ogawa¹ (1.Chubu Univ.)

Keywords:

plasma,Curling Probe

これまで我々は、特性の異なる2つのカーリングプローブを用いることで、産業利用される堆積性プラズマ中の電子密度とそこで堆積される膜の厚さをその場同時計測できる「ダブルカーリングプローブ法」を開発してきた。 本発表では、2つのプローブ径を統一してプラズマ曝露条件を揃える一方、アンテナ特性を変化させることでプローブ間に差異を設けた。この新たな構成によるダブルカーリングプローブ法の計測特性について報告する。