[17p-W9_325-1~11] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

4:15 PM - 4:30 PM JST(7:15 AM - 7:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[17p-W9_325-11] Improvement of Passivation for p-type Silicon Nano-crystals/Silicon Oxide Composite Layer by Atomic Hydrogen Treatment in a Cat-CVD System

〇(M2)Hiroto Yamaguchi¹, Shohei Fukaya¹, Kazuhiro Gotoh^1,2,3, Keisuke Ohdaira⁴, Markus Wilde⁵, Katsuyuki Fukutani⁵, Yasuyoshi Kurokawa^1,6, Noritaka Usami^1,6,7 (1.Grad Eng., Nagoya Univ., 2.Fac. Eng., Niigata Univ., 3.IRCNT Niigata Univ., 4.JAIST, 5.Inst. Ind. Sci., Univ. of Tokyo, 6.InFuS, Nagoya Univ., 7.IMaSS Nagoya Univ.)

Keywords:

passivation,solar cell

我々は，優れたキャリア輸送と長期信頼性の両立を目指し，シリコンナノ結晶／酸化シリコン複合膜をパッシベーション膜として利用する研究を進めている．現在，p型複合膜の性能は，n型複合膜と比較して相対的に低い．パッシベーション膜は水素導入を行うことで，さらなる高性能化を達成できる可能性がある．本研究では，触媒化学気相堆積装置にてp型複合膜へ原子状水素を導入することで，パッシベーション性能の向上を検討した．