[18a-WL1_201-1~8] 6.4 Thin films and New materials

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[18a-WL1_201-1] Synthesis of Highly Crystalline LiH Epitaxial Thin Films and Evaluation of Fundamental Properties

〇Kenta Saito¹, Kawahara Kouki¹, Fukushi Erika¹, Oguchi Hiroyuki¹, Mjima Takuya², Harada Takayuki³ (1.Shibaura Univ., 2.Kyouto Univ., 3.NIMS)

Keywords:

matal hydride,thin film

水素化物薄膜の物性開拓を目指し、MgO(100)上にラジカル水素反応性赤外レーザー蒸着でLiHエピタキシャル薄膜を合成し、成膜条件と結晶性の相関と基礎物性を調べた。基板温度150→250℃で合成し、LiH(200)ロッキングカーブ半値幅0.3037°を得た。また、ERDAでほぼ両論組成かつ不純物のない単相膜であり、UV-visでバンドギャップEg=4.8 eV、SEM・EBSDで平坦性と完全な(100)配向を確認した。