[18a-WL2_201-1~10] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics

9:15 AM - 9:30 AM JST(12:15 AM - 12:30 AM UTC)

[18a-WL2_201-2] Fabrication and Inverse-Shape Replication of Silicon Arrays with Sub-micrometer Bowl-shaped Structure

〇(M1)Kota Yamakawa¹, Tomoya Oshikiri¹, Iori Morita², Kaori Sato³, Hiromasa Niinomi¹, Masaru Nakagawa¹ (1.IMRAM, Tohoku Univ., 2.RIEC, Tohoku Univ., 3.IMR, Tohoku Univ.)

Keywords:

optical resonator,plasma etching,UV-nanoimprint

サブミクロンサイズの椀状基材、光反射層、誘電体層から成る光共振器は、高い可視光補集能を有し、光反応場としての利用が期待されている。本研究では、シリコン（Si）表面上に作製した椀状レジストパターンを、反応性イオンエッチングによりSiに形状を転写し、これを光ナノインプリント成形で複製することで、高スループットな椀状光共振器の作製法の開発を目指し、研究を行った。