[18a-WL2_201-1~10] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学

9:15 〜 9:30

[18a-WL2_201-2] サブミクロンサイズのシリコン椀状構造配列体の作製と反転形状複製

〇(M1)山川 好汰¹、押切 友也¹、森田 伊織²、佐藤 香織³、新家 寛正¹、中川 勝¹ (1.東北大多元研、2.東北大通研、3.東北大金研)

キーワード：

光共振器、プラズマエッチング、光ナノインプリント

サブミクロンサイズの椀状基材、光反射層、誘電体層から成る光共振器は、高い可視光補集能を有し、光反応場としての利用が期待されている。本研究では、シリコン（Si）表面上に作製した椀状レジストパターンを、反応性イオンエッチングによりSiに形状を転写し、これを光ナノインプリント成形で複製することで、高スループットな椀状光共振器の作製法の開発を目指し、研究を行った。