[18p-W9_324-1~10] KS.1 Solid State Quantum Sensor Group

4:00 PM - 4:15 PM JST(7:00 AM - 7:15 AM UTC)

[18p-W9_324-10] Local Temperature Measurement on RC-IGBTs Using NV Centers in Nanodiamonds

〇Yuki Watanabe¹, Naoyuki Kawabata¹, Akira Kiyoi¹, Fumiya Kamada², Hiromu Nakashima², Keisuke Oshimi², Masazumi Fujiwara² (1.Mitsubishi Electric Corp., 2.Okayama Univ.)

Keywords:

Nanodiamond,NV center,RC-IGBT

RC-IGBTは、IGBT領域と還流ダイオード(FWD)領域を１つのチップ内に形成したパワーデバイスである。動作中の局所的な温度上昇を抑制するようにIGBTとFWDはレイアウトされているが、実際の温度分布の高分解能測定は課題であった。本研究では蛍光ナノダイヤモンド(FND)をチップ上に塗布し、RC-IGBT通電中の温度変化を計測した。