[18p-W9_324-1~10] KS.1 Solid State Quantum Sensor Group

3:45 PM - 4:00 PM JST(6:45 AM - 7:00 AM UTC)

[18p-W9_324-9] Evaluation of the spatial distribution of impurity concentration in diamond using NV centers

〇Yuta Masuyama¹, Takeyuki Tsuji², Hiroshi Abe¹, Tokuyuki Teraji² (1.QST, 2.NIMS)

Keywords:

quantum sensor,NV center,diamond

CVD成長過程における不純物取り込みや格子歪みの空間的な変動が量子特性に与える影響は十分に解明されていない。本研究では、mmスケールのCVDダイヤモンド成長断面に対し、柱状励起蛍光顕微鏡（CEFM）を用いた広範囲な量子特性の空間分布計測を行った。二次イオン質量分析（SIMS）と比較を行い、成長プロセスが量子特性に及ぼす影響を評価する技術の開発することを目的とした。