講演情報
[18p-W9_324-9]NVセンターを用いたダイヤモンド中の不純物濃度の空間分布評価
〇増山 雄太1、辻 赳行2、阿部 浩之1、寺地 徳之2 (1.QST、2.NIMS)
キーワード：
量子センサー、NVセンター、ダイヤモンド
CVD成長過程における不純物取り込みや格子歪みの空間的な変動が量子特性に与える影響は十分に解明されていない。本研究では、mmスケールのCVDダイヤモンド成長断面に対し、柱状励起蛍光顕微鏡（CEFM）を用いた広範囲な量子特性の空間分布計測を行った。二次イオン質量分析（SIMS）と比較を行い、成長プロセスが量子特性に及ぼす影響を評価する技術の開発することを目的とした。