[18p-WL2_301-1~11] 3.8 Terahertz technologies

2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[18p-WL2_301-3] Silicon nitride MEMS beam resonator for room-temperature, high sensitivity terahertz bolometric detection

〇Yuto Amano¹, Akira Kojima¹, Nobuyoshi Koshida¹, Ya Zhang¹ (1.Tokyo Univ. of Agri. &Techno.)

Keywords:

MEMS,terahertz,sensor

MEMS共振器を用いたテラヘルツ（THz）検出器は、高感度、高速応答性、小型化、ならびに室温動作が可能であることから、近年大きな関心を集めている。本研究では、テラヘルツセンシング応用に向けた高性能なSiN両持ち梁型MEMS共振器について報告する。