[18p-WL2_301-1~11] 3.8 テラヘルツ全般

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[18p-WL2_301-3] 室温動作、超高感度テラヘルツ検出に向けたSiN MEMS共振器の開発

〇天野 湧登¹、小島 明¹、越田 信義¹、張 亜¹ (1.農工大工)

キーワード：

MEMS、テラヘルツ、センサー

MEMS共振器を用いたテラヘルツ（THz）検出器は、高感度、高速応答性、小型化、ならびに室温動作が可能であることから、近年大きな関心を集めている。本研究では、テラヘルツセンシング応用に向けた高性能なSiN両持ち梁型MEMS共振器について報告する。