第39回数値流体力学シンポジウム
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15:30 〜 15:50
[GS-2-03]
吸込孔付き非接触ステージ流れにおける浮上高さ依存性の定常・非定常特性
*鈴木 博貴
1
、岡 宏昭
1
、藤原 順
2
、河内 俊憲
1
(1. 岡山大学、2. 国際技術開発㈱)
キーワード:
直接数値解析、低レイノルズ数流れ、流体潤滑
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