講演情報

[GS-2-03]吸込孔付き非接触ステージ流れにおける浮上高さ依存性の定常・非定常特性

*鈴木 博貴1、岡 宏昭1、藤原 順2、河内 俊憲1 (1. 岡山大学、2. 国際技術開発㈱)

キーワード:

直接数値解析、低レイノルズ数流れ、流体潤滑