講演情報

10:45 〜 11:00

[S13_1_07(一般講演)]反応性スパッタリング法を用いたSnO₂薄膜の作製とそのガス応答特性

濵田仁誠^1,2、〇渡邉賢¹、末松昂一¹、野口大輔^1,2、島ノ江憲剛¹ (1. 九州大学、2. 都城高専)