講演情報

[S3_2_01(一般講演)]中性電解液におけるアニオン種が窒化ガリウムの光電気化学エッチングに与える影響

〇篠﨑 貴旭1、渦巻 裕也1、山口 愛佳1、蓑輪 浩伸1 (1. NTT株式会社 先端集積デバイス研究所)