[C-6] 電子部品・材料

10:15 〜 10:30

[C-6-02] Cu/ZrN_x/SiO₂/Si積層構造におけるZrN_x膜の熱的安定性

〇佐藤 勝¹、武山 真弓¹ (1. 北見工業大学)

キーワード：

LSI、配線