[C-6] 電子部品・材料

10:45 〜 11:00学術奨励賞候補対象キャリアエクスプローラー

[C-6-04] TiO₂ドープによるアモルファスカーボン薄膜の比誘電率向上

◎△青木 慶次郎¹、石川 博康¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

アモルファスカーボン、酸化チタン、比誘電率、薄膜