[BPA] 優秀プレゼンテーション賞セッション

[BPA-56] フェムト秒レーザ熱蓄積による表層炭化を用いた熱駆動マイクロアクチュエータの開発

〇寺田 隼¹、田中 靖子¹、田口 良広¹、橋本 将明¹ (1. 慶應義塾大学)

キーワード：

熱駆動マイクロアクチュエータ、レーザ誘起グラフェン、熱蓄積、熱膨張率、フェムト秒レーザ