講演情報
[R1P-01]岩石薄片に対するプラズマエッチングの削剥効果の検証「発表賞エントリー」
*山川 桃佳1、纐纈 佑衣1、道林 克禎1 (1. 名古屋大・院環境)
キーワード：
プラスマエッチング、SEM-EBSD、かんらん石
岩石中に含まれる鉱物は，薄片作成時の物理的研磨によって，結晶構造がゆがんだダメージ層が形成される事例が報告されている（Inoue & Kogure, 2012; Kouketsu et al., 2019）．このような岩石薄片は，SEM-EBSD分析において，正確な鉱物の結晶学的情報を得るために，ダメージ層の除去処理が重要となる．このSEM-EBSD分析のための前処理として，コロイダルシリカを用いた処理が推奨されており，先行研究において，石英と方解石のコロイダルシリカ処理条件が検証されている（金井ほか, 2015）．本研究では，コロイダルシリカ処理後の追加的処理として，プラズマエッチングによる削剥効果の検証を行った．まず、プラズマエッチングの削剥速度を調べるために，大気プラズマによるエッチングを施したかんらん石の段差計測，大気及びArプラズマによるエッチングを施したOsコーティングの透過率計測を行った．さらに，岩石薄片の表面状態を検証するため，大気プラズマによるエッチングを行ったかんらん岩薄片のEBSDデータを検証した．
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