講演情報

[S2.9]Ni-Alフラックスを用いたAlN結晶成長

*安達 正芳1、神原 新1、大塚 誠1、福山 博之1 (1. 東北大多元研)

キーワード:

液相成長、窒化アルミニウム

Ni-AlをフラックスとしたAlN結晶の成長装置を構築し,AlN結晶の成長を試みた.実験の結果,1 hおよび24 hの成長時間でそれぞれ10 mm,20 mmの厚さの結晶を晶出させることに成功した.