講演情報
[S9.5]溶液成長法による6インチSiC結晶の育成において活用したプロセス・インフォマティクス技術開発
*宇治原 徹1,2,3,4、朱 燦1、角岡 洋介1、鈴木 皓己1、郁 万成1、劉 欣博、黨 一帆、古庄 智明1、磯野 優1、沓掛 健太朗、原田 俊太1、田川 美穂1 (1. 名古屋大学、2. 理化学研究所、3. 産業技術総合研究所、4. UJ-Crystal)
キーワード：
結晶成長、SiC、機械学習、プロセス・インフォマティクス
我々は長年溶液成長による高品質SiC結晶成長技術の開発を行い、最近では、6インチの結晶成長も実現している。これには機械学習技術を用いたいわゆるプロセス・インフォマティクスによるプロセス開発を活用している