講演情報
[S8.5]SiC飽和条件下での溶液成長によるSiC微結晶由来マクロ欠陥の抑制
*三谷 武志1、川西 咲子2、CHAUSSENDE Didier3、吉川 健4 (1. 産総研、2. 東北大多元研、3. CNRS-SIMaP、4. 東大生研)
キーワード：
SiC、溶液成長、SiC飽和、SiCインクルージョン
溶液成長成ではSiC微結晶が成長層にインクルージョンとして取り込まれてしまう問題がある。本研究ではSiCるつぼから原料供給するSiC飽和条件での溶液成長によってSiCインクルージョンの抑制に成功したので報告する。