講演情報
[S6.3][基調講演] Gibbs-Thomson溶媒を用いたSiC結晶の高速液相エピタキシャル成長と
集光レーザーを利用した微細構造結晶成長の試み
*吉川 健1、小枝 泰也1、浅野 雄介1、中本 将嗣1、鈴木 賢紀1 (1. 大阪大学)
キーワード:
Gibbs-Thomson溶媒、微細構造、溶液成長、SiC
Gibbs-Thomson 効果により過飽和を創出する微粒子を分散溶媒"Gibbs-Thomson溶媒"を用いたSiC結晶の新たな高速液相エピタキシャル成長法と、それを集光レーザーと組み合わせたSiCの微細構造成長の検討を報告する。
