[P] P106~P129　構造材料

[P127] 気相堆積法におけるAl₂O₃薄膜形成過程の分子動力学計算

○中村 朱里¹、奥川 将行^1,2、三津原 晟弘^1,2、小泉 雄一郎^1,2 (1. 大阪大、2. 3DPTec統合センター)

キーワード：

セラミックス材料、分子動力学計算

本研究では、スパッタリング法におけるAl₂O₃薄膜の堆積過程を模擬する分子動力学シミュレーションモデルを構築し、基板温度と堆積薄膜構造の関係を調査した。4種の原子間ポテンシャルを調査したところ、Vashishtaらの原子間ポテンシャルが、適当であると考えられた。