[P] P88~P100　材料プロセシング

[P99] TiNi形状記憶合金スパッタ膜の分光反射率温度依存性評価

○村上 大志¹、霜降 真希²、土屋 智由²、三宅 修吾¹ (1. 摂南大学、2. 京都大学)

キーワード：

形状記憶合金、非接触温度計測、サーモリフレクタンス

TiNi形状記憶合金薄膜へのサーモリフレクタンス温度計測の適用を目的として、分光反射率の温度依存性を評価した。相変態に伴い反射率が大きく変化し、可視域で高い反射率温度依存性が得られた。本結果より、TiNi薄膜の非接触・高空間分解能温度計測への適用可能性を示した。