[P] P130~P143　エネルギー関連材料

[P132] ミクロ熱電発電デバイス応用に向けたTi添加によるCrN熱電薄膜の性能向上

○倉橋 純也¹、双 逸^2,3、須藤 祐司^1,3 (1. 東北大工、2. 東北大工(FRIS)、3. 東北大工(AIMR))

キーワード：

熱電薄膜、熱電材料、窒化クロム (CrN)、欠陥制御、室温成膜

Ti添加による室温成膜CrN熱電薄膜の熱電特性向上を検討した。Ti添加によりゼーベック係数と電気伝導率のトレードオフが緩和され、パワーファクターが約2桁向上した。