[G] 相安定性・相変態

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[199] SUS316Lアモルファス薄膜抵抗体合金の開発と高効率ヒータ特性

○三好 壽幸^1,2、前林 清和² (1. 株式会社三共テクノロジー、2. 神戸学院大学)

キーワード：

SUS316L薄膜、アモルファス組織、マルテンサイト変態、炭素源シンタリング、高効率ヒータ

SUS316/316L薄膜に炭素源シンタリング処理と水冷急冷を施し，アモルファス・マルテンサイト複合組織を形成した。高抵抗率，低い抵抗温度依存性，高い昇温効率を示し，高効率薄膜ヒータ材として有望である。