[P] P9~P23 電気・電子・光関連材料

[P16] 真空アーク蒸着法を利用したLIFT用・磁性ドナーの開発

○増田 杏太郎¹、福田 樹¹、山下 昂洋¹、柳井 武志¹、中野 正基¹ (1. 長崎大学)

キーワード：

真空アーク蒸着法

本研究室では，非熱処理プロセスであるＬＩＦＴ法を用いたネオジム系マイクロ磁石の創製を報告しており，これまでＰＬＤ法でマイクロ磁石のドナーを作製してきた。本研究では，ＬＩＦＴ法の新規ドナー材料の探索を目的として，真空アーク蒸着法によりα－Ｆｅドナーを準備し，ＬＩＦＴ転写の検討を実施したので報告する。