[P] P217~P230　材料化学

[P223] SUS316L基板上におけるRu薄膜の結晶配向性の検討

○堀越 響¹、谷田川 隼¹、永野 隆俊¹ (1. 茨城大学)

キーワード：

Ru薄膜、スパッタリング、結晶配向

ITER用光反射ミラーへの適用を目的として、RFマグネトロンスパッタ法によりRu(0001)配向膜の形成条件を検討した。Ar圧力、RF電力および基板間距離が結晶配向に及ぼす影響を評価した結果、Ru原子のエネルギーと表面拡散のバランスがRu(0001)配向に重要であることを示した。