[P] P36~P59　組織

[P47] 精密酸化熱処理による酸素欠損型Gd₂O_3-x薄膜の局所構造解析

○荒巻 謙¹、志田 賢二²、松田 元秀³、松田 光弘³ (1. 熊本大 自然科学（院生）、2. 熊本大 技術部門、3. 熊本大 先端科学)

キーワード：

酸素欠損、酸化プロセス、透過型電子顕微鏡、ガドリニウム酸化物

本研究では酸化熱処理により酸素欠損型Gd₂O_3-x薄膜を作製した。
本試料には約10％の酸素欠損が導入されており、CTEMおよびHAADF-STEM観察では、酸素欠損導入に伴う構造変化が認められた。これらはHAADF-STEM観察によって、約1.5nmの周期的な組織を呈していることが明らかになった。