[P] P36~P59　組織

[P49] Si基板上に成膜したCrAlN/SiCN膜に及ぼす真空中熱処理の影響

○島田 将志¹、土屋 大樹¹、李 昇原¹、Abrar Ahmed^4,1、池野 進²、松田 健二¹、野瀬 正照^2,3 (1. 富山大学、2. 富山大学名誉教授、3. 龍谷大学、4. 富山大学先進アルミニウム国際研究センター)

キーワード：

薄膜、透過型電子顕微鏡、走査透過型電子顕微鏡

切削工具用CrAlN/SiCNコーティングは機械的特性や耐酸化性が求められる。当研究室では、Al添加膜が大気中1200K×1hの熱処理で硬さが向上することを確認したが、その要因は未解明である。本研究では、真空熱処理によるCrAlN/SiCN膜の機械的特性、耐酸化性、微細組織の関係を明らかにする。