[P] P152~P165　電気・電子・光関連材料

[P153] スパッタリング法成膜したTi-Te一次元薄膜の相転移挙動と微細構造解析

○手塚 琢登¹、双 逸^2,3、安藤 大輔¹、須藤 祐司^1,3 (1. 東北大工、2. 東北大(FRIS)、3. 東北大(AIMR))

キーワード：

一次元ファンデルワールス、低次元材料、半導体薄膜、Ti-Te二元系、球面収差補正STEM

次世代メモリとして期待される一次元ファンデルワールス材料のTiTe₅は、理論計算で予測されているが実測の報告が存在しない未踏相である。本研究ではスパッタ法を用いてその薄膜合成を試みた。微細構造を解析した結果、理論予測とは異なる直線的なTi配列を持つ単斜晶系の新相を発見したため詳細を報告する。