[P] P152~P165　電気・電子・光関連材料

[P160] Fe-Pt系マイクロ磁石開発におけるLIFT法の適用

○牧 航聖¹、轟木 捷斗¹、福田 樹¹、山下 昴洋¹、柳井 武志¹、中野 正基¹ (1. 長崎大)

キーワード：

Fe-Pt系磁石、マイクロ磁石、LIFT法

医療用マイクロデバイスへの応用が期待されるFe-Pt系マイクロ磁石の開発を目指し、PLD法で成膜・熱処理したFe-Pt膜をドナーとするLIFT法での転写を検討した。レーザ光のエネルギー密度が転写ドットの形状および磁気特性に及ぼす影響を報告する。規則相の変化に起因する保磁力低下についても述べる。