[P] P152~P165　電気・電子・光関連材料

[P164] Ta/W系重金属/CoFeB積層膜におけるTa/W層構造がスピン軌道トルク磁化反転および消費電力に及ぼす影響

○小松 翔真¹、石川 瑞恵^1,2、松浦 昌志¹、手束 展規¹ (1. 東北大、2. 日大)

キーワード：

スピントロニクス、スピン軌道トルク、MRAM、スピン軌道トルク磁化反転、CoFeB

マグネトロンスパッタリング法により、Ta膜厚を系統的に変化させたTa/W系重金属/CoFeB積層膜を作製した。Ta/W層構造がSOT磁化反転特性および消費電力指標に及ぼす影響を評価し、低消費電力化には、低抵抗率化だけでなく、W/CoFeB 界面を維持する層構造設計が重要であることが示唆された。