[G] 表面・界面・触媒

10:45 〜 11:00

[59] スクリーンプラズマ窒化した SUS304上DLC膜の機械的性質に及ぼすSi-DLC中間層の傾斜組成構造化の影響

○西本 明生¹、山内 かれん¹ (1. 関西大)

キーワード：

コーティング、ダイヤモンドライクカーボン、傾斜組成、密着性改善、耐摩耗性

SUS304をS‑DCPNにより硬化した後，TMS比を傾斜させたSi‑DLC中間層を導入し，DLC膜の機械的性質，耐摩耗性，密着性を体系的に評価した。密着性向上と特性劣化抑制を両立する複合処理の有効性を検討した。