[G] 磁性材料

14:00 〜 14:15

[139] 高磁化･高磁化率の超常磁性Co-Al₂O₃グラニュラー薄膜の実現に向けたAl₂O₃マトリックス材の高速成膜の試み

小林 拓海¹、小野 龍太郎¹、江川 元太¹、○吉村 哲¹ (1. 秋田大学)

キーワード：

超常磁性、Co-Al2O3グラニュラー薄膜、高速成膜

CoのDCスパッタリングとAl₂O₃マトリックスのRFダイレクトスパッタリングでの同時成膜によるCo-Al₂O₃グラニュラー薄膜の作製において，Co含有量を多くしても超常磁性単相を維持できるよう，Co微粒子の粒成長を抑制するための高速成膜を行い，その効果を確認した．