講演情報

[103]他貴金属付加および雰囲気制御を行ったPd/Y水素センサーの特性

○山口 明1、伊藤 萌恵1、橋本 明日香1、三浦 愛彩1 (1. 岩手大学)

キーワード:

水素、センサー、薄膜

Pd/Y積層膜にAuやPtを付加させた膜のセンサー特性と、水蒸気を含む他のガスを加え、雰囲気を制御した場合のセンサー特性について調べた。Pd/Y薄膜にAu・Pt層を成膜することで低濃度水素で検知速度の向上が可能であることが分かった。

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