[P] P177~P201　組織

[P196] EPMAを用いた微量炭素分析に向けたコンタミネーション抑制技術の開発

○加藤 光樹¹、縄舩 泰輝¹、村野 孝訓¹ (1. 日本電子)

キーワード：

EPMA、コンタミネーション、微量炭素分析

EPMAなど電子顕微鏡を用いた微量炭素分析では、電子線照射に伴う炭化水素分解によりコンタミネーションが生じ、定量・分布評価の妨げとなる。本研究ではArイオン銃を併用し、堆積炭素をスパッタリング除去することで汚染を抑制し、より高精度な炭素定量及び分布解析の実現を目指した。