[P] P177~P201　組織

[P199] ¹⁴N(α,α)¹⁴N共鳴核反応による窒素定量に向けた標準試料の作製

○新堀 大輝¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：

ラザフォード後方散乱分光法、イオンビーム分析、パルスレーザー堆積法、薄膜、標準試料

本研究では、高精度な窒素定量に向け、Cu-CrNの2相薄膜を作製し、窒素共鳴を利用したRBS測定において、窒素ピークの増倍率を評価した。XRD、XPS測定からCu-CrN 2相薄膜を確認し、窒素共鳴RBS測定から窒素含有量を37.6%と決定、窒素ピークの増倍率R_Nを8.29と算出した。