2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[16a-A21-7]多層極性反転積層構造の作製に向けたN極性GaN/Ga極性GaN
エピタキシャル極性反転プロセス

〇池田 和久1、上田 佳奈子1、上向井 正裕1、谷川 智之1、片山 竜二1 (1.阪大院工)
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キーワード：

半導体、窒化物

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