[16a-A22-1~9] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

11:15 〜 11:30

[16a-A22-9] InP/InAlAs複合コレクタを適用した高耐圧InP系DHBTのエピタキシャル成長

〇星 拓也¹、白鳥 悠太¹、中島 史人¹ (1.NTT先端集積デバイス研)

キーワード：

InP系DHBT、InP/InAlAs複合コレクタ、InGaAsSbベース