[16a-A25-1~10] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

9:00 〜 9:15

[16a-A25-1] 集積レーザ素子のウェハレベル自動計測

〇堀川 剛¹、吉田 俊¹、西山 伸彦^1,2,3 (1.東工大工、2.東工大研究院、3.PETRA)

キーワード：

集積フォトニクス、集積レーザー、ウェハレベル検査

集積レーザーのレーザー強度・電流・電圧特性、発振スペクトル、小信号応答などの特性を高速高精度に評価するウェーハレベル自動計測システムを開発した。InP系メンブレンレーザーを用いた繰り返し測定において、極めて高い測定再現性を確認した。